Microfabricated systems and MEMS 5 : proceedings of the international symposium. : Oct 2000, Phoenix, AZ.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 1566772869
• タイトル: Microfabricated systems and MEMS 5 : proceedings of the international symposium. : Oct 2000, Phoenix, AZ.
• シリーズタイトル: PV ; 2000-19
• タイトル標目: Proceedings (Electrochemical Society) ; v. 2000-19.
• 著者標目: Hesketh, P. J. (Peter J.); International Symposium on Microfabricated Systems and MEMS (5th : 2000 : Phoenix, Ariz.)
• 出版事項: Pennington : Electrochemical Society, Inc.
• 出版年月日等: c2000.
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: viii, 258 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Microelectronics -- Congresses.; Microstructure -- Congresses.; Micromechanics -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.; "Microfabricated Systems and MEMS-V Symposium held in Phoenix, October 2000" -- preface.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-4938
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004248037; http://id.ndl.go.jp/bib/000004248037
• RLIN番号: CUBGGLAD84538331-B
• 整理区分コード: 215