Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films : proceedings of the sixth international symposium. : Mar 2001, Washington D.C.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 156677313X
• タイトル: Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films : proceedings of the sixth international symposium. : Mar 2001, Washington D.C.
• シリーズタイトル: PV ; 2001-7
• タイトル標目: Proceedings (Electrochemical Society) ; v. 2001-7.
• 著者標目: Landgrebe, Albert R.; Sundaram, K. B.; Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films (6th : 2001 : Washington, D.C.)
• 出版事項: Pennington : Electrochemical Society
• 出版年月日等: c2001.
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: x, 286 p. : ill. ; 24 cm.
• 並列タイトル等: Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films : proceedings of the 6th international symposium
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Thin film devices -- Congresses.; Silicon nitride -- Congresses.; Silicon dioxide -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.; "Dielectric Science and Technology, Electronics, and High Temperature Materials Divisions" -- t. p.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-4987
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004248353; http://id.ndl.go.jp/bib/000004248353
• LC control number: 2001092446; https://lccn.loc.gov/2001092446
• RLIN番号: CUBGGLAD184905573-B
• 整理区分コード: 215