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High purity silicon 6 : proceedings of the sixth international symposium. : 198th meeting of the Electrochemical Society : Oct 2000, Phoenix, AZ. (PV ; 2000-17) (SPIE Proceedings ; 4218)

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High purity silicon 6 : proceedings of the sixth international symposium. : 198th meeting of the Electrochemical Society : Oct 2000, Phoenix, AZ.

(PV ; 2000-17) (SPIE Proceedings ; 4218)

国立国会図書館請求記号
M17-03-4935
国立国会図書館書誌ID
000004248365
資料種別
図書
著者
Claeys, C. L.ほか
出版者
Electrochemical Society
出版年
c2000.
資料形態
ページ数・大きさ等
xix, 696 p. : ill. ; 24 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
1566772842 (ECS)
0819438901 (SPIE)
シリーズタイトル
出版年月日等
c2000.
出版年(W3CDTF)
2000
数量
xix, 696 p. : ill. ; 24 cm.