Numerical studies of the electromagnetic fields and plasma properties in a microwave plasma source excited by azimuthally symmetric surface waves

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Numerical studies of the electromagnetic fields and plasma properties in a microwave plasma source excited by azimuthally symmetric surface waves
• 著者・編者: Hiroyuki Kousaka [著]
• 著者標目: 上坂, 裕之 コウサカ, ヒロユキ
• 出版事項: [Hiroyuki Kousaka]
• 出版年月日等: 2003
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 軸対称表面波励起マイクロ波プラズマ源における電磁界とプラズマ特性に関する数値的研究 ジク タイショウ ヒョウメンハ レイキ マイクロハ プラズマゲン ニ オケル デンジカイ ト プラズマ トクセイ ニ カンスル スウチテキ ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成15年7月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2003
• 報告番号: 甲第10430号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2003-N921
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004252802; http://id.ndl.go.jp/bib/000004252802
• 整理区分コード: 213