Sub-half-micron lithography for ULSIs / edited by Katsumi Suzuki, Shinji Matsui, and Yukinori Ochiai.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0521570808
• タイトル: Sub-half-micron lithography for ULSIs / edited by Katsumi Suzuki, Shinji Matsui, and Yukinori Ochiai.
• 著者標目: 鈴木, 克巳, 1951- スズキ, カツミ, 1951- ( 001160700 )典拠; 松井, 真二, 1950- マツイ, シンジ, 1950- ( 01013822 )典拠; 落合, 幸徳 オチアイ, ユキノリ ( 00988847 )典拠
• 出版事項: Cambridge : Cambridge University Press; New York : Cambridge University Press
• 出版年月日等: 2000.
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: xvii, 323 p. : ill. ; 26 cm.
• 出版地（国名コード）: GB
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Integrated circuits -- Ultra large scale integration -- Design and construction.; Microlithography.; Printed circuits -- Design and construction.
• LCC: TK7874.76
• DDC: 621.39/5
• NDLC: ND386
• 一般注記: Related URL: Publisher description http: //www.loc.gov/catdir/description/cam029/99013558.html.; Related URL: Table of contents http: //www.loc.gov/catdir/toc/cam027/99013558.html.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND386-B3
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004255087; http://id.ndl.go.jp/bib/000004255087
• LC control number: 99013558; https://lccn.loc.gov/99013558
• RLIN番号: DCLC9913558-B
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 211