Chemical-mechanical planarization : symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A. : symposium F, "chemical-mechanical planarization" : 2003 MRS spring meeting : Apr 2003, San Francisco, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 1558997040
• タイトル: Chemical-mechanical planarization : symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A. : symposium F, "chemical-mechanical planarization" : 2003 MRS spring meeting : Apr 2003, San Francisco, CA.
• シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 767
• タイトル標目: Materials Research Society symposia proceedings. v. 767.
• 著者標目: Boning, Duane S.; Materials Research Society. Meeting (2003 : San Francisco, Calif.); Symposium on Chemical-Mechanical Planarization (2003 : San Francisco, Calif.)
• 出版事項: Warrendale : Materials Research Society
• 出版年月日等: c2003.
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: xi, 348 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Microelectronics -- Materials -- Congresses.; Grinding and polishing -- Congresses.; Metals -- Pickling -- Congresses.; Semiconductors -- Surfaces -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.; " (...) the sixth in an annual series of CMP symposia associated with the MRS Spring Meeting." -- preface.
• 書誌注記: Includes bibliographic references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-04-1776
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004270636; http://id.ndl.go.jp/bib/000004270636
• RLIN番号: MOHG53191183-B
• 整理区分コード: 215