Characterization and metrology for ULSI technology : 2003 international conference on characterization and metrology for ULSI technology : Austin, Texas 24-28 March 2003. : Mar 2003, Austin, TX.

• 資料種別: 図書
• ISBN（セット）: 0735401527 (set)
• ISSN（シリーズ）: 0094-243X
• タイトル: Characterization and metrology for ULSI technology : 2003 international conference on characterization and metrology for ULSI technology : Austin, Texas 24-28 March 2003. : Mar 2003, Austin, TX.
• シリーズタイトル: AIP Conference Proceedings ; 683
• タイトル標目: AIP conference proceedings ; no. 683.
• 著者標目: Seiler, David G.; International Conference on Characterization and Metrology for ULSI Technology (2003 : Austin, Tex.)
• 出版事項: Melville : American Institute of Physics
• 出版年月日等: c2003.
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: xviii, 818 p. : ill. ; 28 cm.
• 付属資料: With a CD-ROM.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Integrated circuits -- Ultra large scale integration -- Congresses.; Integrated circuits -- Ultra large scale integration -- Congresses -- Software.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.; Accompanying computer disc contains full text from the book.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-04-1460
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004300052; http://id.ndl.go.jp/bib/000004300052
• RLIN番号: CSUGA5558346-B
• 整理区分コード: 215