今後のLSI技術の物理的問題点を探る

• 資料種別: 図書
• タイトル: 今後のLSI技術の物理的問題点を探る
• タイトルよみ: コンゴ ノ LSI ギジュツ ノ ブツリテキ モンダイテン オ サグル
• シリーズタイトル: 応用物理学会スクール : テキスト ; 第10回
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: 東京 : 応用物理学会
• 出版年月日等: 1992.3
• 出版年（W3CDTF）: 1992
• 数量: 82p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 大規模集積回路--論文集 ダイキボシュウセキカイロ ロンブンシュウ ( 01089588 )典拠
• NDC9版: 549.7 : 電子工学
• NDLC: ND386
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期・会場: 1992年3月27日 日本大学理工学部習志野校舎; JSAP catalog no.AP921309
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND386-H72
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004347143; http://id.ndl.go.jp/bib/000004347143
• 全国書誌番号: 20577342
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

プログラム（目次）

「今後のLSI技術の物理的問題点を探る」

11:00 デバイス技術とその物理的問題/ 1

-昼食 12:00〜13:00-

13:00 加工技術とその物理的問題/ 17