今後のLSI技術の物理的問題点を探る

• Material Type: 図書
• Title: 今後のLSI技術の物理的問題点を探る
• Title Transcription: コンゴ ノ LSI ギジュツ ノ ブツリテキ モンダイテン オ サグル
• Series Title: 応用物理学会スクール : テキスト ; 第10回
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 応用物理学会
• Publication Date: 1992.3
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 82p
• Size: 26cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 大規模集積回路--論文集 ダイキボシュウセキカイロ ロンブンシュウ ( 01089588 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.7 : Electronic engineering
• NDLC: ND386
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 1992年3月27日 日本大学理工学部習志野校舎; JSAP catalog no.AP921309
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND386-H72
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004347143; http://id.ndl.go.jp/bib/000004347143
• National Bibliography No. (JPNO): 20577342
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

プログラム（目次）

「今後のLSI技術の物理的問題点を探る」

11:00 デバイス技術とその物理的問題/ 1

-昼食 12:00〜13:00-

13:00 加工技術とその物理的問題/ 17