次世代材料用新薄膜作製技術の基礎と応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 次世代材料用新薄膜作製技術の基礎と応用
• タイトルよみ: ジセダイ ザイリョウヨウ シン ハクマク サクセイ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ
• シリーズタイトル: 応用物理学会スクールB : テキスト ; 第31回
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: 東京 : 応用物理学会
• 出版年月日等: 2002.9
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 142p
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 薄膜--論文集 ハクマク ロンブンシュウ ( 00810447 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期・会場: 2002年9月27日 新潟大学五十嵐キャンパス; JSAP catalog no.AP021340
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-H48
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004347195; http://id.ndl.go.jp/bib/000004347195
• 全国書誌番号: 20576481
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

プログラム（目次）

次世代材料用新薄膜作製技術の基礎と応用

9:00 薄膜作製技術の歴史と意義/ 1

9:15 新規強誘電体メモリ用薄膜の作製/ 11

10:05 コンビナトリアルテクノロジー：集積化薄膜技術による材料開発の高速化/ 27