次世代材料用新薄膜作製技術の基礎と応用

• Material Type: 図書
• Title: 次世代材料用新薄膜作製技術の基礎と応用
• Title Transcription: ジセダイ ザイリョウヨウ シン ハクマク サクセイ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ
• Series Title: 応用物理学会スクールB : テキスト ; 第31回
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 応用物理学会
• Publication Date: 2002.9
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 142p
• Size: 30cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 薄膜--論文集 ハクマク ロンブンシュウ ( 00810447 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 2002年9月27日 新潟大学五十嵐キャンパス; JSAP catalog no.AP021340
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-H48
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004347195; http://id.ndl.go.jp/bib/000004347195
• National Bibliography No. (JPNO): 20576481
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

プログラム（目次）

次世代材料用新薄膜作製技術の基礎と応用

9:00 薄膜作製技術の歴史と意義/ 1

9:15 新規強誘電体メモリ用薄膜の作製/ 11

10:05 コンビナトリアルテクノロジー：集積化薄膜技術による材料開発の高速化/ 27