Super hard carbon coating with gas cluster ion beam assisted deposition

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Super hard carbon coating with gas cluster ion beam assisted deposition
• 著者・編者: Teruyuki Kitagawa [著]
• 著者標目: 北川, 晃幸 キタガワ, テルユキ
• 出版事項: [Teruyuki Kitagawa]
• 出版年月日等: 2003
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: ガスクラスターイオンビーム援用蒸着による超高硬度炭素膜 ガス クラスター イオン ビーム エンヨウ ジョウチャク ニ ヨル チョウ コウコウド タンソマク
• 授与機関名: 姫路工業大学
• 授与年月日: 平成15年9月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2003
• 報告番号: 甲第147号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-B128
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004353512; http://id.ndl.go.jp/bib/000004353512
• 整理区分コード: 213