博士論文

Super hard carbon coating with gas cluster ion beam assisted deposition

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Super hard carbon coating with gas cluster ion beam assisted deposition

Call No. (NDL)
UT51-2004-B128
Bibliographic ID of National Diet Library
000004353512
Material type
博士論文
Author
Teruyuki Kitagawa [著]
Publisher
[Teruyuki Kitagawa]
Publication date
2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
姫路工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
Teruyuki Kitagawa [著]
Author Heading
北川, 晃幸 キタガワ, テルユキ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2003
Publication Date (W3CDTF)
2003
Extent
1冊
Alternative Title
ガスクラスターイオンビーム援用蒸着による超高硬度炭素膜 ガス クラスター イオン ビーム エンヨウ ジョウチャク ニ ヨル チョウ コウコウド タンソマク
Degree grantor/type
姫路工業大学