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Advances in mirror technology for X-ray, EUV lithography, laser, and other applications : 7-8 August 2003 : San Diego, California, USA. : 48th annual meeting of SPIE's international symposium on optical science and technology : Aug 2003, San Diego, CA. (SPIE Proceedings ; 5193)

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Advances in mirror technology for X-ray, EUV lithography, laser, and other applications : 7-8 August 2003 : San Diego, California, USA. : 48th annual meeting of SPIE's international symposium on optical science and technology : Aug 2003, San Diego, CA.

(SPIE Proceedings ; 5193)

国立国会図書館請求記号
M17-04-1864
国立国会図書館書誌ID
000004364260
資料種別
図書
著者
Khounsary, Ali M.ほか
出版者
SPIE
出版年
c2004.
資料形態
ページ数・大きさ等
ix, 222 p. : ill. (some color) ; 28 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
0819450669
ISSN(シリーズ)
0277-786X
シリーズタイトル
出版事項
出版年月日等
c2004.
出版年(W3CDTF)
2004