Monitoring PVD metal vapors using laser absorption spectroscopy

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Monitoring PVD metal vapors using laser absorption spectroscopy
• 著者・編者: Braun, D. G; Anklam, T. M; Berzins, L. V; Hagans, K. G
• 出版年月日等: 1994
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 7 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : UCRL-JC-116205; テクニカルリポート番号 : DE94 018455; テクニカルリポート番号 : CONF-94051394
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE94/018455
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005500231; http://id.ndl.go.jp/bib/000005500231
• 整理区分コード: 291