Specification of the figure and finish of EUV mirrors in terms of performance requirements

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Specification of the figure and finish of EUV mirrors in terms of performance requirements
• 著者・編者: Church, E. L; Takacs, P. Z
• 出版年月日等: 1994
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 6 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : BNL-60902; テクニカルリポート番号 : DE95 002927; テクニカルリポート番号 : CONF-94091774
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/002927
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005509326; http://id.ndl.go.jp/bib/000005509326
• 整理区分コード: 291