Control of thin film processing behavior through precursor structural modifications

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Control of thin film processing behavior through precursor structural modifications
• 著者・編者: Schwartz, R. W; Voigt, J. A; Boyle, T. J; Christenson, T. A; Buchheit, C. D
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 15 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-95-0090C; テクニカルリポート番号 : DE95 006468; テクニカルリポート番号 : CONF-9501292
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/006468
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005517195; http://id.ndl.go.jp/bib/000005517195
• 整理区分コード: 291