Multivariate classification of BPSG thin films using Mahalanobis distances

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Multivariate classification of BPSG thin films using Mahalanobis distances
• 著者・編者: Zhang, S; Franke, J. E; Niemczyk, T. M; Haaland, D. M; Cox, J. N
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 7 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-95-0394C; テクニカルリポート番号 : DE95 008519; テクニカルリポート番号 : CONF-95051921
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/008519
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005517937; http://id.ndl.go.jp/bib/000005517937
• 整理区分コード: 291