Numerical study of the effects of reactor geometry on a chlorine helicon plasma etch reactor

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Numerical study of the effects of reactor geometry on a chlorine helicon plasma etch reactor
• 著者・編者: Font, Gabriel I; Boyd, Iain D
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 9 p
• 並列タイトル等: Aerospace sciences meeting & exhibit. 34th. Reno, Nev. Jan. 1996
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : AIAA-96-0591
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M-AIAA-96-0591
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005534954; http://id.ndl.go.jp/bib/000005534954
• 整理区分コード: 291