Fifth workshop on the role of impurities and defects in silicon device processing. Extended abstracts NREL/SP-413-8250 DE95 009278 CONF-9508143-EXTDABSTS

Fifth workshop on the role of impurities and defects in silicon device processing. Extended abstracts

NREL/SP-413-8250 DE95 009278 CONF-9508143-EXTDABSTS

国立国会図書館請求記号: LS-DE95/009278
国立国会図書館書誌ID: 000005536169

資料種別: 規格・テクニカルリポート類

著者: Sopori, B. Lほか

出版者: -

出版年: 1995

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: 160 p. (2 microfiches)

NDC: -

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書誌情報

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マイクロ

資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Fifth workshop on the role of impurities and defects in silicon device processing. Extended abstracts
著者・編者: Sopori, B. L
Luque, A
Sopori, B
Swanson, D
Gee, J
出版年月日等: 1995
出版年（W3CDTF）: 1995
数量: 160 p. (2 microfiches)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : NREL/SP-413-8250
テクニカルリポート番号 : DE95 009278
テクニカルリポート番号 : CONF-9508143-EXTDABSTS
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE95/009278
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005536169
http://id.ndl.go.jp/bib/000005536169
整理区分コード: 291