EUV reticle pattern repair experiments using 10 KeV neon ions

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: EUV reticle pattern repair experiments using 10 KeV neon ions
• 著者・編者: Hawryluk, A. M; Kania, D. R; Celliers, P; DaSilva, L; Stith, A
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 7 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : UCRL-JC-119625; テクニカルリポート番号 : DE95 014692; テクニカルリポート番号 : CONF-940917710
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/014692
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005537960; http://id.ndl.go.jp/bib/000005537960
• 整理区分コード: 291