ECR etching of group-III nitride binary and ternary films

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: ECR etching of group-III nitride binary and ternary films
• 著者・編者: Shul, R. J; Howard, A. J; Pearton, S. J
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 14 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-95-2101C; テクニカルリポート番号 : DE96 000782; テクニカルリポート番号 : CONF-9510074
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/000782
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005539375; http://id.ndl.go.jp/bib/000005539375
• 整理区分コード: 291