Growth and properties of W-B-N diffusion barriers deposited by chemical vapor deposition

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Growth and properties of W-B-N diffusion barriers deposited by chemical vapor deposition
• 著者・編者: Fleming, J. G; Roherty-Osmun, E; Custer, J; Smith, P. M; Reid, J. S
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 5 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-95-2250C; テクニカルリポート番号 : DE96 001726; テクニカルリポート番号 : CONF-95101611
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/001726
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005541727; http://id.ndl.go.jp/bib/000005541727
• 整理区分コード: 291