Fifth workshop on the role of impurities and defects in silicon device processing: Summary of panel discussions NREL/TP-413-20005 DE95 009298 CONF-9508143-SUMM

Fifth workshop on the role of impurities and defects in silicon device processing: Summary of panel discussions

NREL/TP-413-20005 DE95 009298 CONF-9508143-SUMM

国立国会図書館請求記号: LS-DE95/009298
国立国会図書館書誌ID: 000005544464

資料種別: 規格・テクニカルリポート類

著者: Tan, Tほか

出版者: -

出版年: 1995

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: 15 p. (1 microfiche)

NDC: -

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書誌情報

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マイクロ

資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Fifth workshop on the role of impurities and defects in silicon device processing: Summary of panel discussions
著者・編者: Tan, T
Sopori, B
Estreicher, S
Jastrzebski, L
出版年月日等: 1995
出版年（W3CDTF）: 1995
数量: 15 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : NREL/TP-413-20005
テクニカルリポート番号 : DE95 009298
テクニカルリポート番号 : CONF-9508143-SUMM
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE95/009298
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005544464
http://id.ndl.go.jp/bib/000005544464
整理区分コード: 291