Quartz substrates for EUVL reticles

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Quartz substrates for EUVL reticles
• 著者・編者: Kania, D. R; Weber, F. J; Vernon, S. P; Hawryluk, A; Baker, S. L
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 6 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : UCRL-JC-119907; テクニカルリポート番号 : DE96 004654; テクニカルリポート番号 : CONF-940917717
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/004654
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005546944; http://id.ndl.go.jp/bib/000005546944
• 整理区分コード: 291