Vapor deposition of tantalum and tantalum compounds

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Vapor deposition of tantalum and tantalum compounds
• 著者・編者: Trkula, M
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 12 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : LA-UR-96-825; テクニカルリポート番号 : DE96 008159; テクニカルリポート番号 : CONF-96020213
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/008159
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005775066; http://id.ndl.go.jp/bib/000005775066
• 整理区分コード: 291