High microwave power ECR etching of III-V semiconductors in CH4/H2/Ar

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: High microwave power ECR etching of III-V semiconductors in CH4/H2/Ar
• 著者・編者: Lee, J. W; Pearton, S. J; Lambers, E. S; Mileham, J. R; Abernathy, C. R
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 11 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-0693C; テクニカルリポート番号 : DE96 007053; テクニカルリポート番号 : CONF-9605024
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/007053
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005775802; http://id.ndl.go.jp/bib/000005775802
• 整理区分コード: 291