Ion energy and angular distributions in inductively coupled Argon RF discharges

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Ion energy and angular distributions in inductively coupled Argon RF discharges
• 著者・編者: Woodworth, J. R; Riley, M. E; Meister, D. C
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 53 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-0535; テクニカルリポート番号 : DE96 009170
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/009170
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005775902; http://id.ndl.go.jp/bib/000005775902
• 整理区分コード: 291