Gettering of transition metals by cavities in silicon formed by helium ion implantation

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Gettering of transition metals by cavities in silicon formed by helium ion implantation
• 著者・編者: Petersen, G. A; Myers, S. M; Follstaedt, D. M
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 15 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-0869C; テクニカルリポート番号 : DE96 015014; テクニカルリポート番号 : CONF-9609941
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/015014
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005859294; http://id.ndl.go.jp/bib/000005859294
• 整理区分コード: 291