ICP etching of GaAs via hole contacts SAND-96-1901C DE96 013184 CONF-9610401

ICP etching of GaAs via hole contacts

SAND-96-1901C DE96 013184 CONF-9610401

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資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: ICP etching of GaAs via hole contacts
著者・編者: Shul, R. J
Baca, A. G
Briggs, R. D
McClellan, G. B
Pearton, S. J
出版年月日等: 1996
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 9 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-1901C
テクニカルリポート番号 : DE96 013184
テクニカルリポート番号 : CONF-9610401
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE96/013184
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005860115
http://id.ndl.go.jp/bib/000005860115
整理区分コード: 291