Particle-surface interactions in chemical mechanical polishing

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Particle-surface interactions in chemical mechanical polishing
• 著者・編者: Dugger, M. T; Adkins, C. L. J; Resnick, P. J; Jeon, J. S; Raghavan, S
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 6 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-2328C; テクニカルリポート番号 : DE96 015194; テクニカルリポート番号 : CONF-96091072
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/015194
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005860144; http://id.ndl.go.jp/bib/000005860144
• 整理区分コード: 291