Dynamics of electronegative plasmas for materials processing. Final report. PROGRESS REPT

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Dynamics of electronegative plasmas for materials processing. Final report. PROGRESS REPT
• 著者・編者: Lichtenberg, A. J; Lieberman, M. A
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 10 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : DOE/ER/13727-T3; テクニカルリポート番号 : DE97 002898
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE97/002898
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005866847; http://id.ndl.go.jp/bib/000005866847
• 整理区分コード: 291