Optical measurement of LIGA milliengine performance

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Optical measurement of LIGA milliengine performance
• 著者・編者: Dickey, F. M; Holswade, S. C; Christenson, T. R; Garcia, E. J; Polosky, M. A
• 出版年月日等: 1997
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 9 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-97-3180C; テクニカルリポート番号 : DE98 001732; テクニカルリポート番号 : CONF-980117
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE98/001732
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005877874; http://id.ndl.go.jp/bib/000005877874
• 整理区分コード: 291