Deposition uniformity, particle nucleation and the optimum conditions for CVD in multi-wafer furnaces

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Deposition uniformity, particle nucleation and the optimum conditions for CVD in multi-wafer furnaces
• 著者・編者: Griffiths, S. K; Nilson, R. H
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 21 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-8614; テクニカルリポート番号 : DE97 053036
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE97/053036
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005878892; http://id.ndl.go.jp/bib/000005878892
• 整理区分コード: 291