規格・テクニカルリポート類

Development of XRMF techniques for measurement of multi-layer film thicknesses on semiconductors for VLSI and ULSI integrated circuits. Final CRADA report for CRADA number Y-1292-0130. PROGRESS REPT Y/AMT-454 DE97 008830

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Development of XRMF techniques for measurement of multi-layer film thicknesses on semiconductors for VLSI and ULSI integrated circuits. Final CRADA report for CRADA number Y-1292-0130. PROGRESS REPT

Y/AMT-454 DE97 008830

国立国会図書館請求記号
LS-DE97/008830
国立国会図書館書誌ID
000005883787
資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者
Carpenter, D. Aほか
出版者
-
出版年
1997
資料形態
マイクロ
ページ数・大きさ等
7 p. (1 microfiche)
NDC
-
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書誌情報

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マイクロ

資料種別
規格・テクニカルリポート類
タイトル
Development of XRMF techniques for measurement of multi-layer film thicknesses on semiconductors for VLSI and ULSI integrated circuits. Final CRADA report for CRADA number Y-1292-0130. PROGRESS REPT
著者・編者
Carpenter, D. A
Golijanin, D. L
Wherry, D
出版年月日等
1997
出版年（W3CDTF）
1997
数量
7 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）
[microform]
リポート番号
テクニカルリポート番号 : Y/AMT-454
テクニカルリポート番号 : DE97 008830
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
LS-DE97/008830