Multilayer coating and tests of a 10x extreme ultraviolet lithographc camera

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Multilayer coating and tests of a 10x extreme ultraviolet lithographc camera
• 著者・編者: Spiller, E; Weber, F. J; Montcalm, C; Baker, S. L; Gullikson, E. M
• 出版年月日等: 1998
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 13 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : UCRLJC128291; テクニカルリポート番号 : DE98 057751; テクニカルリポート番号 : CONF980225
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE98/057751
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005893971; http://id.ndl.go.jp/bib/000005893971
• 整理区分コード: 291