Alternative micromachining approaches for the realization of robust MEMS

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Alternative micromachining approaches for the realization of robust MEMS
• 著者・編者: Allen, Mark G; Glezer, Ari
• 出版年月日等: 2000
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 14 p
• 並列タイトル等: Aerospace sciences meeting & exhibit. 38th. Reno, Nev. Jan. 2000
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : AIAA-2000-0248
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M-AIAA-2000-0248
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006063440; http://id.ndl.go.jp/bib/000006063440
• 整理区分コード: 291