規格・テクニカルリポート類

Design and fabrication of monolithically integrated pressure and temperature sensor using MEMS processes for wide band gap materials AIAA-2001-4649

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Design and fabrication of monolithically integrated pressure and temperature sensor using MEMS processes for wide band gap materials

AIAA-2001-4649

国立国会図書館請求記号
M-AIAA-2001-4649
国立国会図書館書誌ID
000006097385
資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者
Dasgupta, Sほか
出版者
-
出版年
2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
9 p
NDC
-
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書誌情報

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紙

資料種別
規格・テクニカルリポート類
タイトル
Design and fabrication of monolithically integrated pressure and temperature sensor using MEMS processes for wide band gap materials
著者・編者
Dasgupta, S
Scofield, J. S
Boyd, J. T
出版年月日等
2001
出版年（W3CDTF）
2001
数量
9 p
リポート番号
テクニカルリポート番号 : AIAA-2001-4649
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
M-AIAA-2001-4649
連携機関・データベース
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