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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ソノ バ カンサツヨウ Xセン コウデン コブン コウブンセキキ ノ カイハツ ト シリコン サンカ ・ チッカ キョクハクマク ノ ケイセイ キコウ ノ カイメイ
- 著者・編者
- 服部, 健雄, 武蔵工業大学
- 著者標目
- 著者 ： 服部, 健雄, 1937- ハットリ, タケオ, 1937- ( 00730159 )典拠
- 出版年月日等
- 1989-1991
- 出版年（W3CDTF）
- 1989
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 特別推進研究
- 件名標目
- X線光電子分光法 Xセンコウデンシブンコウホウ角度分解X線光電子分光法 カクドブンカイXセンコウデンシブンコウホウ赤外全反射吸収測定法 セキガイゼンハンシヤキユウシユウソクテイホウシリコン表面の清浄化 シリコンヒヨウメンノセイジヨウカシリコン自然酸化膜 シリコンシゼンサンカマクシリコンの初期酸化 シリコンノシヨキサンカシリコン酸化膜/シリコン界面 シリコンサンカマク/シリコンカイメンシリコン 水素結合 シリコンスイソケツゴウ