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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ソノ バ カンサツヨウ Xセン コウデン コブン コウブンセキキ ノ カイハツ ト シリコン サンカ ・ チッカ キョクハクマク ノ ケイセイ キコウ ノ カイメイ
- Author/Editor
- 服部, 健雄, 武蔵工業大学
- Author Heading
- 著者 ： 服部, 健雄, 1937- ハットリ, タケオ, 1937- ( 00730159 )Authorities
- Publication Date
- 1989-1991
- Publication Date (W3CDTF)
- 1989
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 特別推進研究
- Subject Heading
- X線光電子分光法 Xセンコウデンシブンコウホウ角度分解X線光電子分光法 カクドブンカイXセンコウデンシブンコウホウ赤外全反射吸収測定法 セキガイゼンハンシヤキユウシユウソクテイホウシリコン表面の清浄化 シリコンヒヨウメンノセイジヨウカシリコン自然酸化膜 シリコンシゼンサンカマクシリコンの初期酸化 シリコンノシヨキサンカシリコン酸化膜/シリコン界面 シリコンサンカマク/シリコンカイメンシリコン 水素結合 シリコンスイソケツゴウ