ヘルプ
ヘルプ
図書

熱CVD装置のシミユレーシヨン

図書を表すアイコン

熱CVD装置のシミユレーシヨン

国立国会図書館請求記号
Y151-H01303009
国立国会図書館書誌ID
000006973567
資料種別
図書
著者
加藤, 邦夫, 群馬大学
出版者
-
出版年
1989-1990
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書店で探す

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別
図書
タイトル
熱CVD装置のシミユレーシヨン
タイトルよみ
ネツ CVD ソウチ ノ シミユレーシヨン
著者・編者
加藤, 邦夫, 群馬大学
著者標目
加藤, 邦夫 カトウ, クニオ
出版年月日等
1989-1990
出版年（W3CDTF）
1989
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 総合研究(A)
件名標目
CVD CVD
多結晶シリコン タケツシヨウシリコン
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ
ウエハー ウエハー
薄膜形成 ハクマクケイセイ
超微粒子 チヨウビリユウシ
自然対流 シゼンタイリユウ
シリコン化合物 シリコンカゴウブツ