熱CVD装置のシミユレーシヨン

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 熱CVD装置のシミユレーシヨン
Title Transcription: ネツ CVD ソウチノシミユレーシヨン
Author/Editor: 加藤, 邦夫, 群馬大学
Author Heading: 加藤, 邦夫カトウ, クニオ
Publication Date: 1989-1990
Publication Date (W3CDTF): 1989
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目総合研究(A)
Subject Heading: CVD CVD
多結晶シリコンタケツシヨウシリコン
エピタキシヤル成長エピタキシヤルセイチヨウ
ウエハーウエハー
薄膜形成ハクマクケイセイ
超微粒子チヨウビリユウシ
自然対流シゼンタイリユウ
シリコン化合物シリコンカゴウブツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01303009
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H01303009
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006973567
http://id.ndl.go.jp/bib/000006973567
Bibliographic Record Category (NDL): 214