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大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

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大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H01460076
国立国会図書館書誌ID
000006973974
資料種別
図書
著者
石川, 順三, 京都大学
出版者
-
出版年
1989-1990
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書2冊 (成果報告書ほか)

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ダイ デンリュウ エキタイ キンゾク イオンビーム ニ ヨル ジョウチャクマク ・ ケッショウセイ ・ カイメン セイギョ ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
石川, 順三, 京都大学
著者標目
石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )典拠
出版年月日等
1989-1990
出版年(W3CDTF)
1989
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
大電流イオンビーム ダイデンリユウイオンビーム
液体金属イオン源 エキタイキンゾクイオンゲン
含浸電極 ガンシンデンキヨク
多点放出 タテンホウシユツ
単体金属イオン タンタイキンゾクイオン
蒸着膜 ジヨウチヤクマク
結晶性制御 ケツシヨウセイセイギヨ
界面拡散 カイメンカクサン