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大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

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大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

Call No. (NDL)
Y151-H01460076
Bibliographic ID of National Diet Library
000006973974
Material type
図書
Author
石川, 順三, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1989-1990
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書2冊 (成果報告書ほか)

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Paper

Material Type
図書
Title
大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発
Title Transcription
ダイ デンリュウ エキタイ キンゾク イオンビーム ニ ヨル ジョウチャクマク ・ ケッショウセイ ・ カイメン セイギョ ギジュツ ノ カイハツ
Author/Editor
石川, 順三, 京都大学
Author Heading
石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )Authorities
Publication Date
1989-1990
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
冊
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
大電流イオンビーム ダイデンリユウイオンビーム
液体金属イオン源 エキタイキンゾクイオンゲン
含浸電極 ガンシンデンキヨク
多点放出 タテンホウシユツ
単体金属イオン タンタイキンゾクイオン
蒸着膜 ジヨウチヤクマク
結晶性制御 ケツシヨウセイセイギヨ
界面拡散 カイメンカクサン