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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- in situ ヒカリ タイセキホウ ニ ヨル InPMIS デンカイ コウカ トランジスタヨウ ゲート ゼツエンマク ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 菅野, 卓雄, 東京大学
- 著者標目
- 菅野, 卓雄 スガノ, タクオ
- 出版年月日等
- 1989-1991
- 出版年（W3CDTF）
- 1989
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
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