超薄膜SiヘテロエピタキシヤルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超薄膜SiヘテロエピタキシヤルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用
• タイトルよみ: チョウハクマク Si ヘテロエピタキシヤル SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 中村, 哲郎, 豊橋技術科学大学
• 著者標目: 中村, 哲郎 ナカムラ, テツロウ
• 出版年月日等: 1989-1991
• 出版年（W3CDTF）: 1989
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: SOI構造 SOIコウゾウ; Al2O3 AL2O3; 薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ; 気相成長法 キソウセイチヨウホウ; ガスソースMBE ガスソースMBE; 選択エピタキシヤル成長 センタクエピタキシヤルセイチヨウ; 電子線照射 デンシセンシヨウシヤ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 01460140
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H01460140
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006974034; http://id.ndl.go.jp/bib/000006974034
• 整理区分コード: 214