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超薄膜SiヘテロエピタキシヤルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

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超薄膜SiヘテロエピタキシヤルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

Call No. (NDL)
Y151-H01460140
Bibliographic ID of National Diet Library
000006974034
Material type
図書
Author
中村, 哲郎, 豊橋技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1989-1991
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウハクマク Si ヘテロエピタキシヤル SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
中村, 哲郎, 豊橋技術科学大学
Author Heading
中村, 哲郎 ナカムラ, テツロウ
Publication Date
1989-1991
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
SOI構造 SOIコウゾウ
Al2O3 AL2O3
薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ
気相成長法 キソウセイチヨウホウ
ガスソースMBE ガスソースMBE
選択エピタキシヤル成長 センタクエピタキシヤルセイチヨウ
電子線照射 デンシセンシヨウシヤ