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半導体のレーザ結晶化過程の研究

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半導体のレーザ結晶化過程の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H01550015
国立国会図書館書誌ID
000006975160
資料種別
図書
著者
山田, 正良, 京都工芸繊維大学
出版者
-
出版年
1989-1990
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
半導体のレーザ結晶化過程の研究
タイトルよみ
ハンドウタイ ノ レーザ ケッショウカ カテイ ノ ケンキュウ
著者・編者
山田, 正良, 京都工芸繊維大学
著者標目
山田, 正良 ヤマダ, マサヨシ
出版年月日等
1989-1990
出版年（W3CDTF）
1989
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
レーザ結晶化 レーザケツシヨウカ
レーザアニール レーザアニール
シリコン シリコン
熱解析 ネツカイセキ
SOI SOI
溶解 ヨウカイ