半導体のレーザ結晶化過程の研究

• Material Type: 図書
• Title: 半導体のレーザ結晶化過程の研究
• Title Transcription: ハンドウタイ ノ レーザ ケッショウカ カテイ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 山田, 正良, 京都工芸繊維大学
• Author Heading: 山田, 正良 ヤマダ, マサヨシ
• Publication Date: 1989-1990
• Publication Date (W3CDTF): 1989
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: レーザ結晶化 レーザケツシヨウカ; レーザアニール レーザアニール; シリコン シリコン; 熱解析 ネツカイセキ; SOI SOI; 溶解 ヨウカイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01550015
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H01550015
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006975160; http://id.ndl.go.jp/bib/000006975160
• Bibliographic Record Category (NDL): 214