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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウシュツリョク シガイ レーザヨウ コウガク ヘイメン ノ チョウセイミツ カコウ ト ヒョウカ
- 著者・編者
- 難波, 義治, 中部大学
- 著者標目
- 難波, 義治 ナンバ, ヨシハル
- 出版年月日等
- 1989-
- 出版年（W3CDTF）
- 1989
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- 超精密加工 チヨウセイミツカコウフロート・ポリシング フロート・ポリシング表面粗さ ヒヨウメンアラサ超精密研削 チヨウセイミツケンサクSTM (走査型トンネル顕微鏡) STM (ソウサガタトンネルケンビキヨウ)触針式表面粗さ測定器 シヨクシンシキヒヨウメンアラサソクテイキ光学式表面粗さ測定器 コウガクシキヒヨウメンアラサソクテイキ